光柵尺作為三坐標測量機的關鍵部件，是非常精密的部件，保養的是否合理直接影響三坐標的精度和光柵尺的壽命。三坐標測量機光柵尺的具體保養和清潔方法請看業內人士的建議。

1、光柵尺的保養方法

       光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。

       盡可能外加保護罩，及時清理濺落在尺上的切削和油液，嚴格防止任何異物進入殼體內部。

       定期檢查各連接螺絲是否松動。

       為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。

       為保證光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。

       光柵尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。

       不要自行拆開光柵尺傳感器，更不任意改動主光柵與副光柵的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度，另一方面可能造成主光柵尺與副光柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就破壞了柵線，因而造成光柵尺報廢。

       應注意防止油污及水污光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。

       光柵尺傳感器應盡量避免在嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵尺鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。

2、光柵尺的清潔方法

　　首先用脫脂棉球蘸無水酒精，手拿棉球從光柵尺的一端擦向另一端，然后換掉這個棉球，用干凈棉球接著擦。棉球不能重復使用，注意不能來回擦。擦的過程中尤其要注意的是不要碰讀數頭。因為讀數頭是用于讀取光柵刻度的傳感器，它的位置和與光柵的距離都是精確調整的。如果發生變化會造成讀數錯誤，以至于不能啟動系統，所以千萬要注意；而且不要讓棉球的纖維粘在長柵上，讀數頭有靜電會吸附纖維影響讀數。光柵尺不宜經常擦，一季度或半年擦一次就可以了。

　　對于Renishaw的開放式光柵尺，光柵尺表面有一層保護膜。如果要清潔它，可以用絨布蘸清水輕擦；或者用無水乙醇來擦拭，但無水乙醇的質量一定要高，不能含有甲醇，甲醇是會侵蝕這層薄膜的。絕不能用有腐蝕的溶劑如丙酮、甲苯，因為這樣會嚴重破壞這層保護膜。這層保護膜可以使你很容易的用柔軟的布擦拭掉，如果重度的污染，比如長時間沒有擦拭光柵尺，導致油污粘的很牢，可以用正庚烷或者異丙醇擦拭。正確的清潔方法不但可以使它測量精確，同時還可以延長它的壽命。